Микроэлектромеханические системы (MEMS-компоненты) и датчики на их основе
Микроэлектромеханические системы (MEMS-компоненты) и датчики на их основе MEMS-компоненты (рус. МЕМС) – расшифровываются, как микроэлектромеханические системы. Основной отлиительной особенностью в них является, то что они содержат в себе подвижную 3D-структуру. Она движется за счет внешнего воздействия. Следовательно, движутся в МЕМС-компонентах не только электроны, но и составные части. MEMS-компоненты – это один из элементов микроэлектроники и… Читать далее »